Yon founo tib CVD (Depo chimik vapè)-konplètman ke yo rekonèt kòm yon founo tib depoze vapè chimik-se yon kalite ekipman pwosesis tèmik lajman itilize nan domèn syans materyèl ak jeni. Itilizasyon prensipal li yo ak fonksyon yo enkli:
Kwasans materyèl ak depozisyon:
Pa entwodwi yon melanj gaz nan gwo founo dife a, founo tib CVD la fasilite dekonpozisyon gaz nan tanperati ki wo. Lè sa a, atòm oswa molekil ki kapab lakòz yo depoze sou yon substra solid, kidonk pèmèt fabrikasyon fim mens, nanopartikil ak lòt materyèl avanse.
Pwosesis tèmik:
Anplis depo materyèl, founo tib CVD a ka itilize pou plizyè tretman tèmik-tankou kalsinasyon poud, sintering seramik, eksperimantasyon tanperati ki wo, ak pwosesis jeneral materyèl-atravè yon pakèt materyèl, ki gen ladan seramik, metal, elektwonik, vè, pwodui chimik, konpozan machin, materyèl konstriksyon, materyèl espesyal, materyèl refractory.
Preparasyon fim mens:
Sa a gen ladan preparasyon fim metal, fim semi-conducteurs, fim optik, ak materyèl menm jan an. Lè yo byen kontwole kondisyon reyaksyon yo ak rezèv materyèl, yo ka jwenn materyèl fim mens-ki gen pwopriyete espesifik ak estrikti.
Preparasyon nan nanomateryèl:
Founo a pèmèt fabwikasyon nan nanomateryèl tankou nanopartikul ak nanofil. Lè yo ajiste paramèt reyaksyon ak materyèl substra, nanomateryo ki gen divès mòfoloji ak dimansyon yo ka sentèz.
Aplikasyon endistri semi-conducteurs:
Nan endistri semi-conducteurs,CVD founo tibjwe yon wòl enpòtan nan pwosesis kritik tankou depozisyon fim mens-, netwaye wafer, ak tretman sifas yo.
Poud metaliji:
Ekipman an aplikab nan domèn metaliji poud, kote li fasilite fòmasyon nan materyèl metalik oswa seramik atravè reyaksyon gaz-faz.
Preparasyon materyèl optik:
Li pèmèt pou sentèz materyèl optik transparan, ki imedyatman itilize nan fabwikasyon aparèy optik, kouch optik, ak konpozan menm jan an.
Konsepsyon estriktirèl:
Kò founo yon gwo founo tib CVD anjeneral gen yon estrikti doub-koki.
Yon fanatik refwadisman enstale nan kavite ki genyen ant kokiy enteryè ak ekstèn pou fasilite sik rapid chofaj ak refwadisman pandan y ap asire ke tanperati sifas kokiy founo a rete ba.
Tib founo a li menm se tipikman konstwi soti nan materyèl ki wo -pite (tankou gwo-korundon pite).
Tou de bout tib la sele lè l sèvi avèk gwo-vakyòm bride asye pur pou asire gaz-sere ak rezistans solid segondè-tanperati.
Kontwòl Tanperati ak Atmosfè:
Sistèm nan kapab byen kontwole tou de tanperati entèn la ak konpozisyon atmosferik nan gwo fou a pou satisfè kondisyon espesifik divès kalite materyèl ak pwotokòl pwosesis.
Li ekipe ak yon sistèm kontwòl gaz egzak (tankou debitmètre manyèl flote oswa gwo -kontwolè koule mas presizyon) pou satisfè kondisyon espesifik pwosesis ki asosye ak diferan atmosfè pwoteksyon. Segondè efikasite ak konsèvasyon enèji:
Itilize gwo -efikasite, enèji-ekonomize materyèl pawa founo (tankou fib polikristalin alumina) pou amelyore efikasite itilizasyon enèji.